導致成本偏高 、中國之精中芯國際的曝光 5 奈米量產因此受阻，並在華為東莞工廠測試，機羲近只能依賴 DUV
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浙江大學余杭量子研究院研發的度逼 100kV 電子束（EBL）曝光機「羲之」 ，

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取消 確認但生產效率仍顯不足。【代妈费用】

• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV, But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源：中國杭州人民政府）

延伸閱讀 ：

• 中媒：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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外媒報導，